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半导体产线搬运机器人 —— 智能片盒运输/搬运


ATR500

APR500

APR500片盒搬运机器人,可自动搬运两个12寸FOUP(兼容8寸片?#26657;?#23454;现端到端全自动搬运。ATR500物料运输机器人,可兼容多种半导体工厂物料,在工厂不同区域进行运输。机器人配置了多重安全保障功能,尤其适用于人机协作环境;多项创新技术有效提升机器人使用效率;可根据客制化需求,为用户提供工厂搬运整体解决方案。
   产品特征

● 灵活性高

● 适用于高净化等级厂房

● 运载量大

● 操作简便

● 物料可追溯

● 安全性高

   主要技术参数

型号

ATR500 

APR500 

运载容量

12个8寸满载片盒或4个12寸满载FOUP

2个12寸满载FOUP

引导方式

激光智能引导

激光智能引导

移动速度

 最高1.3 m/s(可配置)

 最高1.3 m/s(可配置)

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