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300系列光刻機 —— LED、MEMS、Power Devices制造


SSB300

SSB320

SSB380

SSB300系列步進投影光刻機面向6英寸以下中小基底先進光刻應用領域,滿足HB-LED、MEMS和Power Devices等領域單面或雙面光刻工藝需求。
   產品特征

● 高分辨率,分辨率可達0.8μm

● 高速在線MAPPING技術

● 高精度拼接

● 多尺寸基底自適應切換

● 高產能

● 高精度套刻

● 完美匹配ALIGNER

   主要技術參數
 型號  SSB300  SSB320  SSB380
 分辨率  0.8μm 2μm  1.5μm
 曝光光源  i-line mercury lamp  i-line mercury lamp i-line mercury lamp
 基底尺寸 100/150 mm 100/150 mm 100/150 mm
 工藝應用  支持LED PAD/PSS工藝 支持LED PAD工藝 支持LED PAD工藝

 可選配置

 背面對準和可變狹縫(Variable Slit)

 背面對準和可變狹縫(Variable Slit)

 背面對準和可變狹縫(Variable Slit)

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