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600系列光刻机 —— IC前道制造


SSA600/20

SSC600/10

SSB600/10

SSX600系列步进扫描投影光刻机采用四倍缩小倍率的投影物镜、工艺自适应调焦调平技术,以及高速高精的自减振六自由度工件台掩模台技术,可满足IC前道制造90nm、110nm、280nm关键层和非关键层的光刻工?#25307;?#27714;。该设备可用于8寸线或12寸线的大规模工业生产。
   主要技术参数
 型号  SSA600/20  SSC600/10  SSB600/10
 分辨率  90nm  110nm  280nm
 曝光光源  ArF excimer laser  KrF excimer laser  i-line mercury lamp
 镜头倍率  1:4  1:4  1:4
 硅片尺寸  200mm或300mm  200mm或300mm  200mm或300mm
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