![]() ATR500 |
![]() APR500 |
● 操作简便
● 适用于高净化等级厂房
● 物料可追溯
● 运载量大
● 操作简便
● 安全性高
型号 | ATR500 | APR500 |
运载容量 | 12个8寸满载片盒或4个12寸满载FOUP 两者可兼容 |
2个12寸满载FOUP |
引导方式 | 激光智能引导 | 激光智能引导 |
移动速度 |
最高1.3 m/s(可配置) |
最高1.3m/s(可配置) |