半导体产线搬运机器人 —— 智能片盒运输/搬运
 ATR500 |
 APR500 |
APR500片盒搬运机器人，可自动搬运两个12寸FOUP（兼容8寸片盒），实现端到端全自动搬运。ATR500物料运输机器人，可兼容多种半导体工厂物料，在工厂不同区域进行运输。机器人配置了多重安全保障功能，尤其适用于人机协作环境；多项创新技术有效提升机器人使用效率；可根据客制化需求，为用户提供工厂搬运整体解决方案。
产品特征
● 操作简便
● 适用于高净化等级厂房
● 物料可追溯
● 运载量大
● 操作简便
● 安全性高
主要技术参数
| 型号 | ATR500 | APR500 |
| 运载容量 | 12个8寸满载片盒或4个12寸满载FOUP 两者可兼容 |
2个12寸满载FOUP |
| 引导方式 | 激光智能引导 | 激光智能引导 |
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移动速度 |
最高1.3 m/s（可配置） |
最高1.3m/s（可配置） |
上海浦东新区张东路1525号
+86-21-51315131
+86-21-58969020
