半導體產線搬運機器人 —— 智能片盒運輸/搬運
 ATR500 |
 APR500 |
APR500片盒搬運機器人，可自動搬運兩個12寸FOUP（兼容8寸片盒），實現端到端全自動搬運。ATR500物料運輸機器人，可兼容多種半導體工廠物料，在工廠不同區域進行運輸。機器人配置了多重安全保障功能，尤其適用于人機協作環境；多項創新技術有效提升機器人使用效率；可根據客制化需求，為用戶提供工廠搬運整體解決方案。
產品特征
● 操作簡便
● 適用于高凈化等級廠房
● 物料可追溯
● 運載量大
● 安全性高
主要技術參數
| 型號 | ATR500 | APR500 |
| 運載容量 | 12個8寸滿載片盒或4個12寸滿載FOUP 兩者可兼容 |
2個12寸滿載FOUP |
| 引導方式 | 激光智能引導 | 激光智能引導 |
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移動速度 |
最高1.3 m/s（可配置） |
最高1.3m/s（可配置） |
上海浦東新區張東路1525號
+86-21-51315131
+86-21-58969020
